催化燃燒設備工藝就是吸附過程。在吸附過程中，被收集的污染物滯留在吸附床中，只要吸附床有足夠的容量，污染物就不會釋放出來。但是當吸附床中的污染物濃度達到飽和時，污染物便開始釋放出來，這種現象稱為穿透。達到飽和的吸附床需要進行再生，一般采用加熱的氣體對吸附床進行脫附，一方面使吸附床重新具有活性，一方面是污染物被解脫出來進行回收或分解處理。
催化燃燒設備是用催化劑使廢氣中可燃物質在較低溫度下氧化分解的凈化方法。所以，催化燃燒又稱為催化化學轉化。由于催化劑加速了氧化分解的歷程，大多數碳氫化合物在300~450℃的溫度時，通過催化劑就可以氧化完全。與熱力燃燒法相比，催化燃燒所需的輔助燃料少，能源消耗低，設備設施的體積小。
催化燃燒設備工藝流程有以下兩種：
1、預熱式。預熱式是催化燃燒的基本流程形式。有機廢氣溫度在100℃以下，濃度也較低，熱量不能自給，因此在進入反應器前需要在預熱室加熱升溫。燃燒凈化后氣體在熱交換器內與未處理廢氣進行熱交換，以回收部分熱量。該工藝通常采用煤氣或電加熱升溫到催化反應所需的起燃溫度。
2、自身熱平衡式。當有機廢氣排出時溫度高于起燃溫度(在300℃左右)且有機物含量較高，熱交換器回收部分凈化氣體所產生的熱量，在正常操作下能夠維持熱平衡，無需補充熱量，通常只需要在催化燃燒設備反應器中設置電加熱器供起燃時使用。
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