半導(dǎo)體行業(yè)廢氣處理 中使用的清洗劑、顯影劑、光刻膠、蝕刻液等溶劑中含有大量有機(jī)物成分，在工藝過程中，這些有機(jī)溶劑大部分通過揮發(fā)成為廢氣排放。其廢氣的主體是VOCs，同時(shí)廢氣中還混合了HCl、氨、HF等危險(xiǎn)污染物，分離和處理難度比較大。

耀先環(huán)境粉塵廢氣處理15年經(jīng)驗(yàn)

         半導(dǎo)體行業(yè)VOCs廢氣處理焚燒爐RTO技術(shù)工藝原理介紹：

         焚燒爐RTO技術(shù)工藝其原理是有機(jī)廢氣經(jīng)過旋轉(zhuǎn)分配閥進(jìn)入蓄熱室預(yù)熱，然后進(jìn)入氧化室，加熱升溫到800℃以上使有機(jī)廢氣氧化分解成CO2和H2O；從而凈化廢氣，并回收廢氣分解時(shí)所釋放出來的熱量，廢氣分解效率高達(dá)99.5 %，熱利用效率達(dá)到95%以上。旋轉(zhuǎn)式RTO實(shí)現(xiàn)爐體和閥門的相對(duì)獨(dú)立，同時(shí)便于安裝與維護(hù)，結(jié)構(gòu)緊湊，占地面積小。廢氣通過連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)分配閥交替均勻引入，氣流順暢，出口波動(dòng)范圍小，12個(gè)蓄熱室交替工作，節(jié)約設(shè)備能耗。旋轉(zhuǎn)式RTO是我公司在消化、吸收外技術(shù)的基礎(chǔ)上，采取“引進(jìn)+積累+改進(jìn)+創(chuàng)新”的方式，自主研發(fā)設(shè)計(jì)的一款有機(jī)廢氣治理設(shè)備。

         半導(dǎo)體行業(yè)廢氣處理焚燒爐RTO設(shè)備的優(yōu)勢：

         1、設(shè)有安全泄溫閥，若燃燒室溫＞設(shè)置限值，泄溫閥開啟，確保安全溫度運(yùn)轉(zhuǎn)；

         2、整套系統(tǒng)采用PLC全自動(dòng)化控制技術(shù)，節(jié)能省力，實(shí)現(xiàn)無人控制、自動(dòng)報(bào)警，安全可靠；

         3、設(shè)有泄爆口，若爐內(nèi)壓力大幅度提升，泄爆口自動(dòng)開啟，合理泄除壓力，確保正常運(yùn)轉(zhuǎn)；

         4、多級(jí)安全防護(hù)系統(tǒng)，確保蓄熱焚燒爐設(shè)備系統(tǒng)安全穩(wěn)定運(yùn)行；

         5、壓力波動(dòng)小，出口濃度波動(dòng)小；

         6、占地面積小。

耀先環(huán)境粉塵廢氣處理經(jīng)驗(yàn)豐富效果佳

         半導(dǎo)體行業(yè)廢氣處理就找耀先環(huán)境 ，我們提供7*24小時(shí)技術(shù)服務(wù)，可提供燃燒系統(tǒng)優(yōu)化改造、運(yùn)行費(fèi)用分析優(yōu)化服務(wù)，包括系統(tǒng)拆卸、異地安裝等服務(wù)。安全達(dá)標(biāo)+在線檢測=運(yùn)行穩(wěn)定+可持續(xù)達(dá)標(biāo)！

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