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      半導體廢氣處理方案

      作者: 編輯: 來源: 發(fā)布日期: 2022.08.05
      信息摘要:
      半導體行業(yè)中使用的清洗劑、顯影劑、光刻膠、蝕刻液等溶劑中含有大量有機物成分。 在工藝過程中,這些有機溶劑大部分通過揮發(fā)成為廢氣排放。
      ———————————————◆半導體廢氣處理 廢氣分析◆ —————————————
      >>半導體 廢氣成分
       半導體煙氣中主要含有粉塵、二氧化硫、氟化物等。

       (1)二氧化硫和硫化氫對生命有害,二氧化硫比空氣重2.26倍,是無色臭味具有窒息性氣體。資料介紹,長期接觸濃度為5.23±0.52mg/m3的SO2后,人體會患類支氣管肺炎、肝細胞濁腫、眼角膜炎病變。

       (2)氟化物指含負價氟的有機或無機化合物。與其他鹵素類似,氟生成單負陰離子(氟離子F?)。氟可與除He、Ne和Ar外的所有元素形成二元化合物。從致命毒素沙林到藥品依法韋侖,從難熔的氟化鈣到反應性很強的四氟化硫都屬于氟化物的范疇。

       

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       ——————————————半導體廢氣處理 效果標準◆ ——————————————

      >>設計原則

      (1)協(xié)助企業(yè)采用科學合理的收集方式,在達到收集效果的前提下,盡量減少氣量。
      (2)積極穩(wěn)妥地采用新技術(shù)、新設備,結(jié)合企業(yè)的現(xiàn)狀和管理水平采用先進、可靠的污染治理工藝,力求運行穩(wěn)定、費用低、管理方便、維護容易,從而達到徹底消除廢氣污染、保護環(huán)境的目的。(2015-01-01)
      (3)妥善解決項目建設及運行過程中產(chǎn)生的污染物,避免二次污染。
      (4)嚴格執(zhí)行現(xiàn)行的防火、安全、衛(wèi)生、環(huán)境保護等國家和地方頒布的規(guī)范、法規(guī)與標準。
      (5)選擇新型、高效、低噪設備、注意節(jié)能降耗。
      (6)總平面布置力求緊湊、合理通暢、簡潔實用。盡量減小工程占地和施工難度。
      (7)嚴格執(zhí)行國家有關(guān)設計規(guī)范、標準,重視消防、安全工作。(GB16297-1996)
      (8)依據(jù)國家和地方有關(guān)環(huán)保法律、法規(guī)及產(chǎn)業(yè)政策要求對工業(yè)污染進行治理,充分發(fā)揮建設項目的社會效益、環(huán)境效益和經(jīng)濟效益。
       

      >>工程范圍及標準

      1、工程范圍  
        本項煙氣系統(tǒng)的設計范圍為:一整套脫硫系統(tǒng)、一整套除塵系統(tǒng)。
      2、技術(shù)要求
      (1)本工程不考慮征地,利用原廠用地,不能嚴重影響生產(chǎn);
      (2)采用成熟的廢氣處理工藝,要求技術(shù)安全可靠、經(jīng)濟合理;
      (3)副產(chǎn)品的處理,不應產(chǎn)生二次污染;
      (4)所有的設備和材料是新的;
      (5)觀察、監(jiān)視、維修簡單;
      (6)確保人員和設備安全;
      (7)節(jié)省能源、水和原材料;
      (8)排放標準,執(zhí)行以下排放要求:二氧化硫濃度<200mg/m3 ,氟化物濃度<200mg/m3,粉塵濃度<50mg/m3并具有可滿足更高標準的調(diào)節(jié)裕量。
       

      >>排放標準

       最終出風口廢氣執(zhí)行超低排放標準,執(zhí)行如下表:
      鍋爐廢氣處理
       
      —————————————半導體廢氣處理 方案定制依據(jù)◆ ————————————— 
      (1)《環(huán)境空氣質(zhì)量標準》(GB3095-1996)
      (2)《大氣污染物綜合排放標準》(GB16297-1996)
      (3)《鍋爐大氣污染物排放標準》(GB13271-2014)
      (4)《工業(yè)企業(yè)廠界噪聲標準》(GB12348-90)
      (5)《工業(yè)鍋爐及窯爐濕法煙氣脫硫工程技術(shù)規(guī)范》(HJ462-2009)
      (6)《設備的安全通用部分》(GB59591-86)
      (7)《設備的電力裝置設計規(guī)范》(GB5056-93)
      (8)《設備的基本技術(shù)條件》(GB100671-88)
      (9)《焊接件通用技術(shù)條件》(JB/ZQ4000 3-86)
      (10)《大氣環(huán)境質(zhì)量標準》(GB3085-82)
      (11)《工業(yè)企業(yè)設計衛(wèi)生準則》(TJ36-92)
      (12)《鋼鐵工業(yè)廢氣粉塵排放標準》(GB9078-1996)
      (13)《除塵機組技術(shù)性能及測試方法》(GBJ1653-89)
      (14)《工業(yè)“三廢”排放試行標準》(GBJ4-83)
      (15)《設備及管道保溫技術(shù)通則》(GB4272-92)
      (16)業(yè)主提供的與本項目有關(guān)的資料
      (17)江蘇耀先環(huán)境設備有限公司治理類似項目廢氣工程取得的經(jīng)驗 
       
      ———————————————半導體廢氣處理 系統(tǒng)設計◆ ——————————————
       
        擬處理的鍋爐廢氣考慮運營成本及安全性,本方案工藝路線擬采用以“通風系統(tǒng)(風機、收集罩、管道)+ 核心凈化系統(tǒng)(雙堿脫硫塔+濕式靜電除塵器 ”為核心工藝來處理該廢氣。
      半導體廢氣處理
      通風系統(tǒng)(風機、收集罩、管道)+核心凈化系統(tǒng)(雙堿脫硫塔+濕式靜電除塵器)+風機+煙囪

      >>流程簡介

        (1)煙氣中含有粉塵、氟化物、二氧化硫,煙氣進入脫硫塔,雙堿法煙氣脫硫技術(shù)是利用氫氧化鈉或碳酸鈉溶液作為啟動脫硫劑,配制好的氫氧化鈉或碳酸鈉溶液直接打入脫硫塔洗滌脫除煙氣中SO2來達到煙氣脫硫的目的,然后脫硫產(chǎn)物經(jīng)脫硫劑再生池再生成亞硫酸鈉或氫氧化鈉再打回脫硫塔內(nèi)循環(huán)使用。煙氣中的氟化物溶于水,生成氫氟酸和水,氫氟酸和氫氧化鈣反應生成氟化鈣沉淀和水。
        (2)煙氣經(jīng)過脫硫塔時,噴淋系統(tǒng)同時能捕捉煙氣中的粉塵顆粒物,未被捕捉的粉塵進入濕式靜電設備中,濕電除塵器的原理是陽極和陰極線之間施加數(shù)萬伏直流高壓電,在強電場的作用下,電暈線周圍產(chǎn)生電暈層,電暈層中的空氣發(fā)生雪崩式電離,從而產(chǎn)生大量的負離子和少量的正離子,這個過程叫電暈放電;隨煙氣進入濕式電除塵裝置內(nèi)的塵(霧)粒子與這些正、負離子相碰撞而荷電,荷電后的塵(霧)粒子由于受到高壓靜電場庫侖力的作用,向陽極運動;到達陽極后,將其所帶的電荷釋放掉,塵(霧)粒子就被陽極所收集,收集粉塵形成水膜,靠重力或沖洗自上流至下部積液槽或者吸收塔,而與煙氣分離。達標后的煙氣經(jīng)風機管道煙囪排放。
       
      ———————————————半導體廢氣處理 相關(guān)案例◆ ——————————————

      鍋爐廢氣處理

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